真空鍍膜設(shè)備主要是指需要在高真空度下進(jìn)行的鍍膜，包括多種，包括多弧離子真空鍍膜設(shè)備、真空離子蒸發(fā)、光學(xué)鍍膜機(jī)、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積等。真空鍍膜的工作原理是薄膜在高溫下蒸發(fā)，落到工件表面結(jié)晶。因?yàn)榭諝鈺?huì)對(duì)蒸發(fā)的膜分子產(chǎn)生阻力，造成碰撞，使晶體變得粗糙、暗淡，所以需要在高真空下使晶體變得細(xì)小、光亮。真空度不高，晶體會(huì)失去光澤，結(jié)合力差。早期真空鍍膜依靠蒸發(fā)物的自然散射，結(jié)合效率差，光澤度差?，F(xiàn)在，隨著中頻磁控濺射靶的加入，膜體的蒸發(fā)分子在電場(chǎng)的作用下受到靶材的轟擊，大量的靶原子被濺射出來(lái)，中性的靶原子(或分子)沉積在襯底上形成薄膜，解決了以往自然蒸發(fā)無(wú)法處理的膜體品種，如鍍鈦、鍍鋯等問(wèn)題。

目前，真空技術(shù)在石油、化工、冶金等行業(yè)的真空蒸發(fā)、結(jié)晶、蒸餾、升華、干燥、負(fù)壓濃縮、脫水、化學(xué)反應(yīng)吸收和真空輸送過(guò)程中的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。真空技術(shù)應(yīng)用于各種加工工藝后，可以節(jié)能降耗，加快反應(yīng)速度，提高產(chǎn)品質(zhì)量，增加經(jīng)濟(jì)效益，并逐漸形成共識(shí)。但真空技術(shù)是一門邊緣科學(xué)，解放后中國(guó)的真空產(chǎn)業(yè)消化吸收了。蒸汽噴射真空泵具有高真空、低能耗、運(yùn)行穩(wěn)定、無(wú)機(jī)械摩擦、使用壽命長(zhǎng)、設(shè)備安全等優(yōu)點(diǎn)。在高真空要求的工作系統(tǒng)中，蒸汽噴射真空泵通常是選的真空泵設(shè)備。