介紹了真空鍍膜機(jī)的工作原理和結(jié)構(gòu)。真空鍍膜機(jī)是真空制造中應(yīng)用最廣泛的設(shè)備。其組成及部件：機(jī)械泵、增壓泵、油分散泵、凝結(jié)水泵、真空測量系統(tǒng)

真空鍍膜機(jī)的原理真空鍍膜機(jī)主要是指一種需要在高真空下進(jìn)行的鍍膜，包括真空離子蒸發(fā)、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積等多種。其主要思想分為蒸發(fā)和濺射。

真空鍍膜機(jī)部件

1、 真空的主體是真空室。根據(jù)加工品的不同要求，真腔的大小也不同。目前最常用的是直徑1.3m、0.9m、1.5m和1.8m。箱體采用不銹鋼材料，要求不生銹、堅(jiān)固。真空室的每個(gè)部分都有一個(gè)連接閥，用于連接泵。

2、 排氣系統(tǒng)由“分散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+聚合物”組成。排氣流程如下：機(jī)械泵首先將真空室抽至小于2.0*10-2Pa的低真空狀態(tài)，這是分散泵隨后抽真空的供給條件。分散泵抽真空室時(shí)，機(jī)械泵與油分散泵串聯(lián)，這樣抽真空。

排氣系統(tǒng)是涂布機(jī)真空系統(tǒng)的重要組成部分，主要由機(jī)械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）和油分散泵組成。

機(jī)械泵：又稱前置泵，機(jī)械泵是應(yīng)用最為廣泛的低真空泵，它是利用油的附著密封作用，依靠機(jī)械的方法不斷改變泵內(nèi)吸入腔的容積，使泵內(nèi)氣體的容積不斷膨脹，進(jìn)而獲得真空。

機(jī)械泵有很多種，常用的有滑閥式（這主要用于大型設(shè)備）、活塞往復(fù)式、固定板式和旋轉(zhuǎn)板式（這是目前應(yīng)用最廣泛的，本文主要介紹）四種類型。

機(jī)械泵常用于去除干燥空氣，但不能去除高含氧量、爆炸性和腐蝕性氣體。機(jī)械泵通常用于去除持續(xù)性氣體，但對水蒸氣的去除效果不好，不能去除水蒸氣。旋葉泵最有效的部件是定子、轉(zhuǎn)子、彈片等，轉(zhuǎn)子在定子內(nèi)部，但與定子不同。主軸像兩個(gè)內(nèi)接圓。轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩片彈片，兩片彈片中心裝有拉簧，保證彈片與定子內(nèi)壁緊密貼合。

真空鍍膜機(jī)的原理及組成分析真空鍍膜機(jī)是真空條件下應(yīng)用最廣泛的真空設(shè)備。一般由真空室、真空單元和電氣控制柜組成。排氣系統(tǒng)由“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+保冷器”組成。我們公司是一家專業(yè)從事研發(fā)的公司；研發(fā)生產(chǎn)真空鍍膜設(shè)備，擁有經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)團(tuán)隊(duì)和高素質(zhì)的售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，解決設(shè)備使用中遇到的任何問題。其次，詳細(xì)介紹了真空鍍膜機(jī)的組成和工作原理。

1、 真空鍍膜機(jī)真空腔的真空體根據(jù)加工產(chǎn)品的要求不同，真實(shí)腔的尺寸也不同。目前應(yīng)用最廣泛的是直徑1.3m、0.9m、1.5m和1.8m。型腔采用不銹鋼，要求不生銹，堅(jiān)固。真空腔的每個(gè)部分都有一個(gè)連接閥，用于連接泵。

2、 輔助抽氣系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)是真空鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要組成部分，主要由機(jī)械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）和油擴(kuò)散泵組成。排氣系統(tǒng)由“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+聚晶”組成。排氣過程如下：機(jī)械泵首先將真空室抽至小于2.0*10-2Pa的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵的后續(xù)抽真空提供前提。然后，擴(kuò)散泵抽真空室時(shí)，機(jī)械泵與油擴(kuò)散泵串聯(lián)，從而完成抽真空動作。

機(jī)械泵：又稱前置泵，是機(jī)械泵中應(yīng)用最廣泛的低真空泵。它用機(jī)油來保養(yǎng)