電子束真空鍍膜機(jī)揮發(fā)源蒸鍍法，將蒸發(fā)原材料放進(jìn)水冷鋼坩鍋中，立即運(yùn)用電子束加溫，使揮發(fā)原材料汽化揮發(fā)后凝固在基材表層涂膜，是真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)中的一種主要的加溫方式和發(fā)展前景。電子束揮發(fā)擺脫了一般電阻絲加熱揮發(fā)的很多缺陷，尤其合適制做溶點(diǎn)塑料薄膜原材料和高純度塑料薄膜原材料。借助電子束負(fù)電子揮發(fā)的真空泵蒸鍍技術(shù)，依據(jù)電子束揮發(fā)源的方式不一樣，又可分成環(huán)狀槍，直槍，e型槍和中空負(fù)極射線管等幾類。

電子束真空鍍膜機(jī)

環(huán)狀槍是由環(huán)形的負(fù)極來發(fā)送電子束，經(jīng)對焦和偏移后打在坩鍋內(nèi)使金屬原材料揮發(fā)。它的構(gòu)造較簡易，可是輸出功率和高效率也不高，大部分僅僅一種試驗(yàn)室用的機(jī)器設(shè)備，現(xiàn)階段在生產(chǎn)制造的設(shè)備中早已不會再應(yīng)用。

直槍是一種中心對稱的直線加速槍，電子器件從鎢絲負(fù)極發(fā)送，聚大細(xì)束，經(jīng)陽極氧化加快后打在坩鍋使得鍍膜原材料溶化和揮發(fā)。直槍的輸出功率從幾百瓦至幾百千瓦的都是有，有的可用以真空蒸發(fā)，有的可用作真空泵冶煉廠。直槍的不足之處是蒸鍍的資料會環(huán)境污染槍身構(gòu)造，給運(yùn)作的可靠性產(chǎn)生艱難，與此同時(shí)發(fā)送鎢絲上逸出的鉀離子等也會造成膜層的環(huán)境污染，近期由西德公司科學(xué)研究，在電子束的出入口設(shè)定偏移電磁場，并在鎢絲位置做成一套單獨(dú)的抽真空系統(tǒng)軟件而制成直槍的改善方式，不僅完全干便了鎢絲對膜的環(huán)境污染，并且還有益于提升槍的使用壽命。

e型射線管，即270℃偏移的射線管擺脫了直槍的缺陷，是現(xiàn)階段用的較多的電子束揮發(fā)源之一。e型射線管可以造成許多的功率，能溶化高溶點(diǎn)的金屬，造成的揮發(fā)顆粒動能高，使膜層和底材融合堅(jiān)固，涂膜的產(chǎn)品質(zhì)量不錯(cuò)。缺陷是射線管規(guī)定較高的真空值，并必須應(yīng)用負(fù)髙壓，這種導(dǎo)致了機(jī)器設(shè)備構(gòu)造繁瑣，安全系數(shù)差，不容易維護(hù)保養(yǎng)，工程造價(jià)也較高。

電子束真空鍍膜機(jī)中空負(fù)極射線管是運(yùn)用低壓，大工作電流的中空負(fù)極充放電造成的低溫等離子電子束做為加溫源。中空負(fù)極射線管用中空的鉭管做為負(fù)極，坩鍋?zhàn)鰹殛枠O氧化，鉭管周邊配有輔助陽極氧化。運(yùn)用中空負(fù)極射線管蒸鍍時(shí)，造成的揮發(fā)正離子動能高，離化率也高，因而，涂膜質(zhì)量好。中空負(fù)極射線管對真空系統(tǒng)的真空值規(guī)定比e型射線管低，并且是應(yīng)用低壓工作中，相對而言，機(jī)器設(shè)備較簡易和安全性，工程造價(jià)也低。現(xiàn)階段，在中國e型射線管和中空負(fù)極射線管早已取得成功地運(yùn)用于蒸鍍及等離子噴涂的設(shè)施中。槍的效率可達(dá)10幾萬千瓦，早已為機(jī)械設(shè)備，電子器件等工業(yè)生產(chǎn)鍍出了各種各樣塑料薄膜。