由于真空鍍膜機必須能夠保持工件的自轉(zhuǎn)，因此工件在不同真空室之間的轉(zhuǎn)移技術(shù)是制造具有三維分散零件的多室連續(xù)鍍膜機的主要難點。目前，傳動機構(gòu)主要是在常規(guī)、廣泛用于板帶材表面涂裝、在無工件旋轉(zhuǎn)機構(gòu)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的鏈式隧道傳動機構(gòu)。

鏈式隧道式連續(xù)輸送機構(gòu)是在傳統(tǒng)板帶表面涂布機中輸送機構(gòu)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的對于真空鍍膜設(shè)備制造商來說，生產(chǎn)沒有難度市場上現(xiàn)有的三維分散件連續(xù)涂布機均采用該機型，國內(nèi)已有多家企業(yè)申請了zhuanli。是鏈式隧道傳動機構(gòu)的結(jié)構(gòu)設(shè)計圖其傳動過程是轉(zhuǎn)盤A帶動柔性金屬鋼帶B轉(zhuǎn)動，自轉(zhuǎn)軸的軸套D焊接在柔性鋼帶上，并通過機械機構(gòu)固定在轉(zhuǎn)盤上同時，內(nèi)齒固定盤F與自轉(zhuǎn)軸C上的齒輪E嚙合，保證其轉(zhuǎn)動。柔性金屬鋼帶B在G處可自由斷開，從內(nèi)齒固定盤F的H口直線運動到下一個真空鍍膜室的工件架上。

鏈式隧道傳動機構(gòu)的缺點是1、真空室之間的連接閥需要尺寸較大，這樣不同真空室之間的氣氛容易相互交叉，從而降低鍍膜質(zhì)量、成品率等；2、要求高設(shè)計精度、由于結(jié)構(gòu)靈活，加工水平容易匹配不準，導致傳動失靈。真空鍍膜機往復(fù)步進齒條推桿輸送機的傳動過程是固定在鍍膜室的頂部或底盤上（與公轉(zhuǎn)盤同一側(cè)）和能夠往復(fù)運動的齒輪g、齒條H－推桿機構(gòu)依次實現(xiàn)將旋轉(zhuǎn)的工件棒Am從真空室M的轉(zhuǎn)臺Jm傳送到真空室n的轉(zhuǎn)臺Jn。齒輪、機架使用的動力是由電機實現(xiàn)的，電機的軸密封在真空室外。為了使自轉(zhuǎn)的工件棒離開轉(zhuǎn)盤進入下一個轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤和自轉(zhuǎn)軸之間采用開放式連接，同時打開固定在鍍膜室內(nèi)并保持旋轉(zhuǎn)的內(nèi)齒輪板的相應(yīng)位置，使自轉(zhuǎn)的工件棒從鍍膜室M轉(zhuǎn)移到下一個鍍膜室n。與鏈式輸送機構(gòu)相比，該機構(gòu)為剛性輸送，不存在嚙合不準確的問題同時，由于所需的過渡空間較小，可以節(jié)省真空室之間閥門的開啟和關(guān)閉時間、進一步減少不同真空室之間的氣氛串擾。從而大大提高了涂覆過程的穩(wěn)定性和可靠性、產(chǎn)量，降低能耗和成本等。

真空鍍膜機成膜不均勻隨著鍍膜技術(shù)的發(fā)展，各種真空鍍膜機逐漸出現(xiàn)無論哪種真空鍍膜機，薄膜的均勻性都會受到一些因素的影響。現(xiàn)在，我們使用磁控濺射真空鍍膜機來分析不均勻成膜的因素。涂布機泵送不均勻會影響涂布均勻性。基片干凈很重要。真空鍍膜前，應(yīng)仔細清洗基底表面，去除工件上的油污、去污和脫水的目的。基板表面污染來源于加工和運輸過程中附著在零件上的各種灰塵、油脂、拋光膏、汗?jié)n等，在潮濕的環(huán)境中，基板表面容易氧化，形成氧化膜吸收氣體。對于這些污染物，可以通過脫脂或化學方法清洗。干凈的基底不應(yīng)直接放在室外，而應(yīng)儲存在封閉的容器中以減少污染?；覊m也會堆積在涂裝室，所以要對涂裝室進行清潔，烘烤脫氣，將機器放在干凈的環(huán)境中。注意擴散泵返油。涂料的原料有很多，比如樹脂、硅酮、硅鹽酸、聚合物等，輔料、配方比例不一樣，貼膜也不一樣。這些都是真空鍍膜機成膜不均勻的因素。