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真空鍍膜機維護

2020-11-16 16:17:01

真空鍍膜機主要是指需要在較高真空下進行一種鍍膜,包括真空蒸發(fā)鍍膜機、真空多弧離子鍍膜機、真空中間頻磁龍濺射鍍膜機、多功能中間頻磁控濺射多弧復合離子鍍膜機、真空光學(電子束蒸發(fā))鍍膜機等系列真空鍍膜設(shè)備。那么,在使用真空電鍍機時,我們應注意什么?如何維護它?

真空鍍膜機維護和安全措施如下:

真空鍍膜機維護

1. 設(shè)備必須可靠接地,并且必須經(jīng)常檢查接地裝置的導電效果。

2. 當擴散泵和增油泵加熱時,不要接觸大氣,以免泵油氧化。

3. 定期檢查調(diào)節(jié)水流繼電器,檢查斷水報警是否正常,確保設(shè)備冷卻供水暢通。

4. 加熱前冷卻水必須連接到擴散泵和增油泵,泵停止工作,但當泵未冷卻到低于 80°C 時,不得切斷冷卻水,以防止泵芯燃燒。

5. 所有設(shè)備的冷卻水在涂裝工作前必須連接,以防止電極和基板燃燒。

6. 拆卸和組裝設(shè)備的各個部件時,應注意保護每個密封工作表面免受機械劃痕或損壞,以確保設(shè)備可靠的密封性能。

7. 設(shè)備各傳動軸的真空密封采用"骨架油封"形式,骨架油封內(nèi)腔充滿潤滑油。使用一段時間后,它將會丟失,并且必須用同樣的潤滑劑填充。

8. 經(jīng)常檢查根泵和滑動閥泵的儲油情況,并定期補充。同時,按照手冊的要求進行維護。


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