真空鍍膜設(shè)備是怎么鍍膜的

2020-12-22 15:08:44

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根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域的不同，鍍膜機(jī)可分為電子槍蒸發(fā)式鍍膜機(jī)、磁控濺射鍍膜機(jī)、等離子式鍍膜機(jī)、射頻鍍膜機(jī)等，但它們的結(jié)構(gòu)基本相同，以光學(xué)鍍膜機(jī)為例，其主要由三部分組成：真空體-真空腔，輔助排氣系統(tǒng)(包括排氣系統(tǒng)，測量系統(tǒng))，蒸發(fā)系統(tǒng)(包括坩堝和旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)，電子槍)，成膜控制系統(tǒng)。

真空鍍膜設(shè)備

真空鍍膜設(shè)備是怎么鍍膜的，該工藝是將材料在真空環(huán)境下加熱鍍到襯底上進(jìn)行真空蒸鍍。特別地，真空蒸鍍是將薄膜覆蓋的物質(zhì)在真空中蒸發(fā)或升華，從而在工件或襯底表面上析出的過程。真空蒸鍍一般采用鋁膜作為鍍層，但也可采用蒸發(fā)沉積方法形成其他鍍層。但目前的鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，成本也比較高，不能完全適應(yīng)工業(yè)化生產(chǎn)的要求，不利于降低鍍膜產(chǎn)品的成本。

本系統(tǒng)是將真空鍍膜系統(tǒng)與手套箱系統(tǒng)相結(jié)合，提供了一種手套箱式蒸鍍一體機(jī)，該系統(tǒng)可以在高真空蒸鍍室內(nèi)完成薄膜蒸鍍，樣品的存放、制備及蒸鍍后的樣品檢測均在手套箱內(nèi)高純惰性氣體氣氛下進(jìn)行。

蒸鍍與手套箱相結(jié)合，實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試全封閉生產(chǎn)，使整個薄膜生長過程和器件制備過程在可控環(huán)境氣氛下高度集成，消除了大面積有機(jī)電路制備過程中大氣環(huán)境不穩(wěn)定因素的影響，保證了高性能、大面積制備有機(jī)光電器件和電路。

優(yōu)點：生產(chǎn)效率高，有利于降低鍍膜產(chǎn)品的成本。