真空設(shè)備應(yīng)用廣泛，如何處理各種復(fù)雜問題？

如今，真空設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣泛，其中許多與電力，電磁，水，氣源和制冷有關(guān)。真空爐或鍍膜設(shè)備都會(huì)遇到電氣問題。很少有一些情況不是電源部分的問題，這很難理解。其中一些是由于機(jī)械組裝時(shí)的粗心造成的，而某些是絕緣材料或結(jié)構(gòu)的問題。這時(shí)，不要急于下結(jié)論，不要急于拆卸設(shè)備，您應(yīng)仔細(xì)分析故障現(xiàn)象或咨詢專門從事此工作的人員。避免意外拆卸和拆卸造成不必要的損失。有一種特殊的設(shè)備在工作時(shí)會(huì)放電。在分析工作記錄并與操作員溝通之后，可以得出不同的結(jié)論。有人認(rèn)為電源有問題，有人認(rèn)為這是組裝過程中的問題。之后，拆卸設(shè)備，重新組裝后消除放電現(xiàn)象。有一個(gè)磁控濺射鍍膜機(jī)，產(chǎn)品的下半部明顯好于上半部，靶的外觀沒有問題，磁環(huán)的上半部用高斯計(jì)消磁。檢查后，發(fā)現(xiàn)水路有問題。調(diào)整水路，更換磁環(huán)，解決了產(chǎn)品上下的一致性問題。

在設(shè)備的加工階段，必須遵循加工技術(shù)（尤其是焊接技術(shù)），以及時(shí)發(fā)現(xiàn)半成品的泄漏。對于制造后無法觸摸，泄漏測試或維修的零件，必須嚴(yán)格測試焊接質(zhì)量是否有泄漏，不合格的零件應(yīng)及時(shí)重新焊接，維修和泄漏測試，然后可以進(jìn)行下一個(gè)過程符合要求后。特別是對于大型容器的裝配焊接和加工，中間過程中的泄漏檢測非常重要。如有必要，應(yīng)設(shè)計(jì)和制造專用的檢漏工具（例如檢漏盒，盲板等）。對于帶有雙壁水冷套的真空腔體，先焊接內(nèi)腔壁并檢查是否泄漏，確認(rèn)沒有泄漏，然后再焊接外腔壁。同樣，在腔室壁的外側(cè)存在難以拆卸的絕緣層的情況下，需要在覆蓋外部結(jié)構(gòu)之前對腔室壁進(jìn)行嚴(yán)格的泄漏檢測。