真空鍍膜機成膜不均的因素。

真空鍍膜機是制造三維分散零件多室連續(xù)鍍膜機的主要難點。目前，傳輸機構(gòu)主要是在傳統(tǒng)的、廣泛應用于板帶表面涂層和無工件自轉(zhuǎn)機構(gòu)的基礎上開發(fā)的鏈式隧道傳輸機構(gòu)。

鏈式隧道連續(xù)輸送機構(gòu)，是在傳統(tǒng)板帶表面鍍膜機中的輸送機構(gòu)的基礎上發(fā)展起來的，對真空鍍膜設備制造企業(yè)而言，生產(chǎn)并無困難，市場上已有的立體分散件連續(xù)鍍膜機都采用了這種型號，國內(nèi)有幾家企業(yè)為此還申請了zhuanli。對于鏈式隧道式輸送機構(gòu)的結(jié)構(gòu)設計圖，其輸送過程是，公轉(zhuǎn)盤A帶動柔性金屬材料鋼帶B公轉(zhuǎn)，自轉(zhuǎn)軸的軸套D焊接在柔性鋼帶上，用機械機構(gòu)固定在公轉(zhuǎn)盤上，同時用帶內(nèi)齒的固定盤F齒合自轉(zhuǎn)軸C上的齒輪E，以確保其自轉(zhuǎn)。柔性金屬材料鋼帶B在G處可以自由斷開，并做直線運動，從內(nèi)齒固定盤F的H開口進入下一個真空鍍膜室的工件架。

鏈式隧道傳動機構(gòu)的缺點是，1、真空室之間的連接閥需要較大的尺寸，這樣，不同真空室之間的氣氛就容易互串，從而降低鍍膜質(zhì)量、成品率等；2、需要較高的設計精度、加工水平，由于是柔性結(jié)構(gòu)，容易出現(xiàn)配對不準確，造成傳動故障。真空鍍膜機往復步進齒條推桿式傳送機的傳送過程是，固定在鍍膜室頂部或底盤上(與公轉(zhuǎn)盤同一側(cè))，并能往復運動的齒輪G、齒條H-推桿機構(gòu)，順序?qū)崿F(xiàn)自轉(zhuǎn)工件桿Am從真空室M的公轉(zhuǎn)盤Jm傳送到真空室N的公轉(zhuǎn)盤Jn。使用的動力是通過軸密封在真空室外的真空室外的馬達實現(xiàn)的。為了使自轉(zhuǎn)工件桿脫離公轉(zhuǎn)盤進入下一個公轉(zhuǎn)盤，在公轉(zhuǎn)盤與自轉(zhuǎn)軸之間采用開式連接，同時固定在鍍膜室內(nèi)，并保持自轉(zhuǎn)內(nèi)齒輪盤相應位置開口，實現(xiàn)自轉(zhuǎn)工件由鍍膜室M傳送到下一個公轉(zhuǎn)工件。

與鏈式輸送機構(gòu)相比，該機構(gòu)為剛性輸送，在沒有齒合不正確的問題的同時，必要的過渡空間小，可以節(jié)約真空室間閥門的開關(guān)時間，進一步減少不同真空室間的氣氛。因此，大幅度提高了鍍膜技術(shù)的穩(wěn)定性、成品率、能源消耗和成本等。

真空鍍膜機成膜不均勻。

伴隨著鍍膜技術(shù)的發(fā)展，各種真空鍍膜機也逐漸出現(xiàn)，無論哪種真空鍍膜機，薄膜的均勻性都會受到一些因素的影響。本文從磁濺射式真空鍍膜機對成膜不均勻性進行了分析。

涂層機抽氣不均會影響涂層的均勻性。清潔基層非常重要。真空涂層前，應仔細清潔基層表面，以達到工件去油、去污和脫水的目的?；鶎颖砻嫖廴緩牧慵幚砗瓦\輸過程中附著的各種灰塵、油脂、拋光膏、汗?jié)n等。在潮濕的環(huán)境中，基層表面容易氧化，形成氧化膜吸附氣體。對于這些污垢，可以通過去油或化學方法清洗。不要直接把干凈的基層放在外面，要用封閉的容器存放，減少污垢。涂層室也會積灰，所以要清洗涂層室，烘烤除氣，把機器放在干凈的環(huán)境中。注意擴散泵返油。涂層的原材料很多，如樹脂、硅酮、硅鹽酸、聚合物等。輔料和配方的比例不同，薄膜也不同。

上述是真空鍍膜機成膜不均勻的原因。